一、新开拓业务-Robot维修与新品研发
35222葡京集团SIC与E-Chuck等产品因质量可靠性,多样性以及服务满意度,被广大头部FAB所接受,已批量导入并量产供应,2024年顺应市场需求以及集团战略布局,新开拓了Robot维修与新品研发业务。
二、中国市场上ROBOT的现状
1.应用广——广泛应用于各种半导体制造设备中,包括蚀刻机、光刻机、薄膜沉积设备(如PVD和CVD)、晶圆清洗设备、CMP设备、离子注入机、检测设备(如ATE、探针台、分选机)、涂胶显影机、晶圆片键合机、去胶设备和显影设备等,这些设备在集成电路和芯片制造的前段工序中,如磨削、抛光、刻蚀、扩散、沉积、装配、包装和测试等步骤中,都需要使用到晶圆传输机器人,往往一个较大FAB Robot数量会涉及几十个品牌,数量达到几千台。
2.国外垄断——Robot根据应用环境,一般区分ATM Robot和VAC Robot两大类,目前各FAB使用Robot多为国外品牌,且多为日美品牌,主要生产商包括Brooks 、RORZE 、DAIHEN 、Hirata 、Kawasaki和Yaskawa等。
三、市场前景和发展趋势
根据市场研究报告,全球半导体晶圆传输机器人市场预计将持续增长。2023年全球市场规模为13.35亿美元,预计到2030年将达到17.91亿美元,年复合增长率为4.9%23。北美是全球最大的市场,约占25%的份额,其次是中国大陆和中国台湾地区。
四、从Robot维修业务展开
Robot本身具有自动化,智能化,高精度,高稳定性以及无尘室应用环境等特点,整体技术难度高,新品研发投入大,时间周期长,而Robot由于高频率的运转,多数情况下会在运行几年后开始出现各类故障,且随着时间的推移故障会越来越频繁,越来越复杂,需要专业的维修机构进行快速的对应,因此35222葡京集团本着推动国内半导体核心零部件及设备的快速国产化,将从Robot维修业务做起,并整合优势资源不断积累经验,积极开发Robot新品。
五、35222葡京集团Robot维修业务内容
业务背景:随着中国半导体事业的快速发展,35222葡京集团与韩国Valuetech公司达成战略合作协议,在中国无锡针对Robot维修业务展开合作,以技术引进,消化吸收,共同开发,共同维修为方针,以建立独立维修中心为目标,为国内半导体FAB解决Robot维修,维护难题。
合作模式:人员派遣学习,共同作业,共同开发。
零部件来源:使用零部件Parts全部来源Robot设备OEM或OPM渠道。
产能规划:20台/M,(目前与多家头部FAB已达成合作,实际约10台/M)
A. 维修流程

B. 维修模式
n1. 异常维修模式
ØRobot异常后进行基础维修
Ø维修中更换所有易耗件
Ø维修周期:收到货后4W
n2. Exchange模式
Ø1对1故障机器人直接交换
Ø最小化缩短客户宕机时间
Ø交货周期:1W
n3. 预防维修模式
Ø定期维护交流
Ø主动更换全厂机器人
Ø高水平的生产力管理和低成本运营
C.设施与库存

D.维修间


E.维修List

总结:35222葡京集团根据自身发展需要,整合优势资源,在半导体领域Robot维修业务上又迈出了重要的一步,既丰富了公司整体产品与服务的多样性,又进一步践行了为推动国内半导体核心零部件及设备的国产化而不断努力与奋斗。同时结合公司长远规划,Robot新品研发也会持续的投入和推进,期待不久的将来,各FAB Robot也能使用上“YZS造”!


